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范围：Lam 9400、9600、4520、2300——
AMAT P500, DPS, centura, endura——
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启闳半导体科技（江苏）有限公司离子计（ion gauge）
工作范围大约在1~10-4 Pa；有B-A型和S-P型两种。B-A型（超高真空计）测量压力可至10-11Torr；S-P型可测量到1torr的压力。
放电型真空计（discharge vacuum gauge）
1.菲利普真空计（penning vacuum gauge/Philips vacuum guage）
2.磁控型真空计（magnetron vacuum gauge）
3.盖斯勒真空计（geissler vacuum guage）
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