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真空计-0

信息来源:本站 | 发布日期: 2019-07-02 | 浏览量:
关键词:真空计-0


真空计是用以测量真空度的仪表,其测量方式见附表

 

技术原理

真空计名称

测量方式

直接由气体施加压力

机械式真空计

1.      波登(bourdon)压力计

2.      隔膜真空计

测定总压力

静态液压气压计

1.      U型管气压计

2.      倾斜液柱气压计

3.      液柱压差气压计

测定总压力

压缩式液柱压力计

麦克劳(mcleod)压力计

测定总压力但不包含蒸气压

气体的粘滞性动能的传输率

旋转盘粘滞性真空计

旋转转子粘滞性真空计

辐射真空计

测定总压力但与气体种类有关

测定总压力,实际与气体种类无关

热传导

派兰尼(Pirani)真空计

热电偶真空计

热变电阻真空计

测定总压力,但与气体的种类有关

气体离子化

放电管

热阴极离子真空计

反位离子真空计

萃取离子真空计

冷阴极离子真空计

反位磁控管真空计

部分压力分析仪

测定总压力,与气体种类有关

 

 

 

 

 

测定部分压力和总压力

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