真空计是用以测量真空度的仪表,其测量方式见附表
技术原理 |
真空计名称 |
测量方式 |
直接由气体施加压力 |
机械式真空计 1. 波登(bourdon)压力计 2. 隔膜真空计 |
测定总压力 |
静态液压气压计 1. U型管气压计 2. 倾斜液柱气压计 3. 液柱压差气压计 |
测定总压力 |
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压缩式液柱压力计 麦克劳(mcleod)压力计 |
测定总压力但不包含蒸气压 |
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气体的粘滞性动能的传输率 |
旋转盘粘滞性真空计 旋转转子粘滞性真空计 辐射真空计 |
测定总压力但与气体种类有关 测定总压力,实际与气体种类无关 |
热传导 |
派兰尼(Pirani)真空计 热电偶真空计 热变电阻真空计 |
测定总压力,但与气体的种类有关 |
气体离子化 |
放电管 热阴极离子真空计 反位离子真空计 萃取离子真空计 冷阴极离子真空计 反位磁控管真空计 部分压力分析仪 |
测定总压力,与气体种类有关
测定部分压力和总压力 |