1.吸收泵（sorption pump）
吸收泵不需要电源，依靠低温液氮吸收腔体内的空气。

2.冷冻压缩泵（cryogenic compressor pump）
由压缩机（compressor）和冷冻泵（cryopump）组成，内部有一耐用的闭回路冷冻单元（refrigerator）。腔体内最不容易去除的气体是氦（He）和氢（H₂），因为氦和氢的平衡蒸气压，即使到极低的温度任然存在。

机台组件参考代号：
MV：主阀门（main valve）
RV：粗抽阀（roughing valve）
FT：前级陷阱（foreline trap）
H：加热器（heater）
PR：再生气体吹净单元（purge and regeneration）
RBH：再生用带状加热器（regeneration band heater）
PiG：派蓝尼真空计（Pirani vacuum gauge）
IG：离子真空计（ion gauge）
PS：压力传感器（pressure sensor）
RP：粗抽泵（roughing pump）
TC：冷冻热电偶温度计（thermo-conductivity guage）

3.溅击离子泵（sputter ion pump ；SIP）
可以产生极高真空度（~10-10 pa），其设计简单，无移动零件、无磨损、无振动。最适合作加速器（accelerator）和分析机器（analysis equipment）抽真空之用。

4.钛升华泵（titanium sublimation pump；TSP）
使用钛灯丝通电流，升华成蒸汽以捕获气体。同时，采用液氮降温陷住气体。

5.不可蒸发吸气泵（non-evaporable getter，NEG pump）
利用过渡金属（Zr、Ti、Al、V、Fe、Ni）或化合物形成的合金加热吸附气体。 NEG泵没有活动机构件，固定工作不会污染气室，不会振动。灯丝寿命225~900小时左右。