1.油扩散泵（oil diffusion pump）
   扩散泵的工作原理是将泵油加热使其蒸发，冷却后的油分子以吸收空气分子，掉落于扩散油之内被抽走，抽真空的范围是10^-3~10^-7torr。
如果chamber内气体有毒性，那么泵油也会有毒，更换泵油时必须格外小心，不要触及皮肤。

  假设装置无泄漏，油扩散泵的终极压力（ultimate pressure）取决于以下几点
 （1）油热自行放出气体
 （2）油的蒸汽压（vapor pressure）
 （3）由排出口逆向扩散的喷流气体
 （4）从喷嘴吸到高真空区的油蒸汽和飞沫
 （5）锅炉温度不足与过高等
 因为扩散油往下降，故上半部分真空度较好。因为扩散泵抽真空速度慢，又有油气回流现象，已渐被无油冷冻泵或涡轮分子泵取代。

2.喷射泵（ejector pump）

3.涡轮分子泵（turbo molecular pump）

4.分子拖曳泵（molecular drag pump）