一、机械泵的附属组件
机械泵配件的作用分为两方面，一是避免泵影响系统内的制程品质，二是防止系统内的制程对泵造成不良影响。

常用附件：
1.分子过滤器（molecular sieve filter）：包括粗抽井（roughing trap）与前置井（foreline trap）两种，
防止机械泵油蒸汽回流至系统或扩散到泵口，在轰击离子泵或涡轮分子泵中常用，目的是为了系统可以保持洁净的环境。常用的分子筛为沸石（zeolite）。

2.除油雾器（oil mist filter或 oil mist eliminator）：当泵的进气压力在1个大气压到3 torr 之间时，其排气将夹带大小1微米左右的油粒子，不但会污染工作区环境，
且使泵油逐渐漏失，利用除油雾器可避免油气逸出与油漏失。

3.滤油器（oil filter）：将不纯物吸附在过滤网上纯化

4.滤尘器（dust filter）：固体颗粒（如大于2um 的物质），会造成泵内部表面磨损，影响性能。

5.冷凝器（condenser）：在蒸汽逸出严重的情况，如真空干燥（desiccation），必须使用冷凝器冷凝水蒸气，一般使用CO作冷凝剂。也可用漂白土（actived earth）、活性氧化铝 （actived alumina）或活性炭（actived carbon）

6.液氮井（LN₂ trap）：防止凝结性以及有害蒸汽由真空室抵达泵，并避免蒸汽回流至系统，它本身也可看做一个泵，凝结温度高于77k的气体均会被凝结抽除。

7.气镇装置（gas ballast）：用于除腔内液态物，如水或丙酮（acetone），避免凝结在泵内表面污染泵油。不过气镇装置会降低抽气速率。

二、卢茨泵（roots pump）

干泵（dry pump），各转动元件不接触，使得转动速度可达3600rmp，但是因为内漏（internal leak）存在，使其压缩比小于油封式机械泵。
主要结构：1.溢流阀  2.转子 3.进气口 4.迷宫世密封 5.驱动马达 6.转动轴 7.油润滑环 8.轴承 9.排气口 10.齿轮 11.油面指示 12.量测接口

三、水环式泵（water ring pump）

粗抽大型泵，造价便宜。和油封回转泵类似，只是密封介质是水

四、干式真空泵（dry vacuum pump）
无鼓风机（blower）、无水冷却用空气冷却、无润滑轴承（bearing）、干滑动。

1.隔膜式（diaphragm）：作为涡轮分子泵的支援泵（booster pump）或冷冻抽气系统的粗抽泵。
2.摇摆活塞式（rocking piston）：质量轻
3.滑动翼式（sliding vane）：用直流马达，无油润滑，低振动，低压力脉冲
4.机械助力泵（mechanical booster pump）
5.漩涡式（scroll）