机械泵（mechanical pump）普遍用于半导体制程粗抽之用；真空泵的工作极限即为终极压力（ultimate pressure）。

1.滑动翼转动泵（sliding vane rotary pump）
其叶片是碳材质的，会磨损，需要定期更换。

2.油密封旋转泵（oil sealed rotary pump）
【1】旋转翼形   ：可两级串联使用，以提高抽气速率（pumping speed）和终极真空度。普遍用于非腐蚀性气体的抽气。
【2】凸轮形
【3】摇动活塞形
（一般旋转泵有过流保护，内有抗倒吸油阀，一种杜邦（dupont）氟橡胶维通（viton）密封以提高可靠度，抵抗化学反应。
与蒸汽接触的部分为不锈钢材质，储油槽有特殊涂层以抗腐蚀，使用油为矿物油（mineral oil）或综合型油。储油槽内油恒温阀，以控制水流。）

3.活塞回转泵（piston rotary pump）
此泵采用油密封，用作前级泵，将反应腔体由1个大气压抽到15~0.1pa 。
附：已逐渐被干泵（dry pump）替代