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专业的半导体机台服务应用公司
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AMAT P500, DPS, centura, endura——
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启闳半导体科技（江苏）有限公司
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材料
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处理
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放出气体量【torr*l/s*cm2】
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耐热玻璃（pyrex）
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-
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10-6~10-8
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耐热玻璃
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400℃脱气
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~10-15（HE） ~10-18（H2O） |
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不锈钢
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-
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10-6~10-8
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不锈钢
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研磨，脱脂
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~10-9
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不锈钢
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250℃脱气
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~10-11
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不锈钢
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400℃脱气
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~10-15（大部分CO）
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镀镍的钢
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-
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~10-7
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生锈的软钢
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-
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10-6~10-7
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人造橡胶（neoprene）
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真空中脱气
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10-5~10-6
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特氟龙（teflon）
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加热脱气
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10-7~108
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维通（viton）
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真空中脱气
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~10-7
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装置
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泄漏容许量【torr*l/s】
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冻结干燥装置
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10-2
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分子蒸馏装置
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10-3
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有泵的水银整流器
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10-4
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高真空排气装置，原子能关系机器
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10-5
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真空冶金装置，电冰箱
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10-6
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回旋加速器（cyclotron）等粒子加速器
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10-7
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大型超高真空装置
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10-8
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真空断热装置
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10-9
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小型超高真空装置
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10-10~10-11
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电子管
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10-12
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