CMC-300系统大大减少了300mm立式扩散炉机器人教学操作中的架空车辆停机时间。
该系统允许操作员站在炉外并教导所有机器人教学点而无需打开否则会干扰OHV的门。
CMC-300系统重要的好处之一是在工具的
半导体设备研发的教学操作过程中节省的时间。
CMC-300系统不仅可用于VDF,还可用于任何移动FOUPS的设备。
优点:大大减少了昂贵的OHV停机,用于机器人教学和验证;FOUP的精确校准消除了放置过程中晶片损坏的可能性;减少75%的教学时间意味着提高了工作时间和工具可用性;提高了维护人员的技能。