Lam是一家美国公司,从事集成电路制造中使用的半导体加工设备的设计,制造,营销和服务,该产品主要用于前端晶圆加工,其中包括创造半导体器件(晶体管,电容器)的有源元件及其布线(互连),该公司还为后端晶圆级封装(WLP)以及相关制造市场(如微机电系统(MEMS))制造设备。
江苏芝麻智能科技有限公司就是专为Lam设计和制造
半导体设备研发,包括薄膜沉积,等离子蚀刻,光刻胶剥离和晶圆清洁工艺中的设备,这些技术在半导体制造过程中不断重复,有助于创建晶体管,互连,高级存储器和封装结构。它们还用于相关市场的应用,如微机电系统(MEMS)和发光二极管(LED)。
薄膜沉积系统铺设了构成集成电路的导电(金属)或绝缘(电介质)材料的亚微观层,这些过程需要在非那个等级上保持一致。采用电化学沉积(ECD)和化学气相沉积(CVD)技术形成铜和其他金属薄膜,用于导电结构。原子层沉积(ALD)也用于钨金属薄膜的特点,如接触和插头,是多级互连芯片设计中金属线之间的垂直连接。