氢氧点火

如若下列条件成立，则氢气的安全连锁装置（Interlock）将打开，并开始进行湿式氧化制程：

（1） 氧气在外管，氢气在内管，如图示

（2） 主要制程程序步骤(Recipe)的设定：N2–O2—H2+O2—O2--N2

（3） H2：O2的气体流量比例是否正确，约为1.8：1（需小于2：1）

（4）氢氧点火前，Torch温度须大于650摄氏度（温度的限制会依不同厂牌的设计而有所不同）

（5）氢氧点火后，Torch温度须维持在350-850摄氏度之间（温度的限制会依不同厂牌的设计而有所不同）

（6）Torch温度不能超过950摄氏度（温度的限制会依不同厂牌的设计而有所不同）

（7）Torch氢氧点火的火焰被传感器(Sensor)感应到

（8） 每隔30s重复检查一次步骤1-7