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反应腔喷淋头

信息来源:本站 | 发布日期: 2021-11-03 | 浏览量:
关键词:反应腔喷淋头

喷淋头(Showerhead) 是一种面式的反应源导入装置。图8- 257所示的是喷淋头结构示意图。喷淋头一般由进口、 缓冲腔和出口三部分组成。进口一般由数个独立的管路组成,各种反应源经过进口管路进入喷淋头中:缓冲腔是各种反应源混合的区域,在缓冲腔中形成相对均匀的反应源混合物;出口一般位于一个平面上,由少则十几个,多则成百上千个小孔组成。反应源混合物通过出口以面状形式进人工艺腔室中。与线式、点式反应源导入装置相比,喷淋头适用于大面积均匀成膜领域。

通常,反应源的进入方向与进口管路平行。然而,反应源在进入缓冲腔后,由于压力的变化会对缓冲腔内壁和出口平面形成一定的冲击。 因此,为避免这种冲击所带来的负面影响,有的喷淋头的反应源进入方向与进口管路相切成螺旋形的进源曲线(见图8-257)。另外,螺旋形的进源曲线设计也有利于反应源的充分混合。在反应源离开喷淋头时,一般要求反应源均勾地进入反应腔室。缓冲腔室的几何形状、容积、出口孔径及分布等参数均会对反应源分布的均匀性造成影响。


常见的喷淋头多为单通道形式,即所有的反应源经由同样的通道进入/离开喷淋头。但在特殊应用场合,喷淋头也可有两个或更多的通道。图8-258所示的是一个应用在原子层沉积设备中的双通道喷淋头结构示意图。在图中所示的喷淋头结构中,反应源的通道分为上、下两层,两个通道中的反应源相对独立。独立通道的设计可以避免反应源在喷淋头内部发生反应,延长喷淋头的使用寿命。


喷淋头一般应用在等离子体增强化学气相沉积设备、原子层沉积设备及清洗机等工艺设备中。


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