阀门(Valve) 是一种安装在管路中用于控制管路开闭的机械装置，其主要作用是控制管路中流体的流量、压力等参数。阀门控制流过的介质可以是液体或气体。

集成电路制造领城中使用的阀门，按驱动方式的不同，分为手动阀、电磁阀、气动阀和单向阀等;按材质的不同，分为金属阀、非金属阀;按使用场合的不同，分为气体用阀、液体用阀和真空阀。集成电路制造中使用的阀门种类很多，主要有球阀、单向阀、减压阀、隔膜阀、波纹管阀等，如图8-253所示。这些阀门的主要技术指标如下所述。

(1)洁净度:阀内表面要进行电解抛光并经过精加工，达到EP级别。

(2)密封性:集成电路设备管路中多数为危险性气体(液体)，所以对阀门的密封性要求很高，经测试泄漏率可达到10(-9) 立方米/s以下。

(3)耐压性:由于管路中的介质乡为危险性高压气体(液体)，所以对阀门有耐压要求，有些阀门的耐压能力应达到数千psi ((1psi= 1 Ib/in2=6. 894 76kPa)。

(4)耐腐蚀性:集成电路制造中所用的气体(液体)多数具有腐蚀性，因此对阀门的耐腐蚀性要求很高，如金属阀门通常采用316L不锈钢。非金属阀门常用PTFE (聚四氟乙烯)等。

由于介质的压力，温度，流量和物理化学性质的不同，对装置和管道系统的控制要求和使用要求也不同。集成电路制造中常用的阀门种类见表8-61。

国际上比较知名的半导体设备行业阀门供应商有Swagelok、Fujikin、 HAM-LET、MKS、VAT等。