低温冷却器(Chiller) 是一种通过液体热传导控制特定部件或单元温度的温控装置。低温冷却器的控温范围为5~ 40度。根据目标温度范围的不同，低温冷却器的工作模式可以分为制冷(室温以下)和加热(室温以上)两种。

低温冷却器主要由循环液回路、冷冻回路和冷却液回路3部分组成。循环液回路用于实现对目标部件或单元的温度控制;循环液可以是水、乙二醇等。冷冻回路用于实现对循环液温度的控制；冷冻液一般是氟利昂。 冷却液回路用于实现对冷冻液温度的控制，以辅助冷冻液实现对循环液进行加热或冷却的控制;冷却液一般是水。

图8-252所示的是SMC公司生产的HRS系列低温冷却器工作原理图。下面以制冷模式为例，介绍低温冷却器的工作过程:循环液回路中的液体经过目标部件或单元后，携带走目标部件或单元的热量，循环液温度升高；冷冻回路中的冷冻液通过汽化吸收循环液携带来的热量，并将其存储在冷冻液中:冷法液通过与冷却液进行热交换，将热量传速给冷却液，井由冷却液携带出低温冷却器。

在实际生产工艺中，一般选择低温冷却器对设各中的液态反应源、基座等对温度控制要求较高的部件或单元进行温度控制。低温冷却器的生产厂家众多，在集成电路制造领城使用的低温冷却器的生产厂家主要有美国的ATS,日本的SMC和SHINWA,以及中国的上海微电子等公司。