分子泵又称涡轮泵，是一种用途广泛、工作可靠的真空泵，可广泛用于刻蚀、沉积、金属化、离子注入等多种集成电路制造工艺设备中，是集成电路制造工艺设备中的重要部件。

分子泵的工作原理是，将气体进行机械压缩，使气体分子向指定方向运动。泵体由电动机、转子、定子(连接在泵的外壳上)组成，转子的旋转叶片和定子的固定叶片两两间隔，每组转子和定子组成一个压缩单元。不同型号的涡轮泵的压缩单元个数各不相同，通常为10～40个。涡轮泵工作时，电动机高速旋转，带动转子将气体从入口抽入，并将动量传输给气体分子，使之获得定向速度;气体在每个压缩单元都经过一个压缩过程，经过10~ 40个压缩过程后，被驱向排气口，这样就实现了高压缩比的高速抽真空，如图8-251所示。

分子泵转子旋转时，叶片端的速度需接近气体分子的平均速度，才能通过与气体分子发生碰撞使气体分子获得定向速度，因此需要分子泵转子以极高的速度旋转。分子泵转子的转速约为20 000r/min,最高可达90 000 r/min。

分子泵的排气速度与叶片角度成正比，叶片的角度大，则排气速度大；叶片的角度小，则排气速度小。分子泵的压缩比与叶片角度成反比，叶片角度大，则压缩比小:叶片的角度小，则压缩比大。分子泵的排气速度基本上不受气体种类的影响，但是抽轻气体(如氢气、氦气等)时，排气速度会有所降低。抽干燥气体时，使用分子泵可达到10(-8)Pa的极限压强，利用分子泵可以制造出很大的气体产量，实现高压缩比的高速抽真空。

在使用分子泵时，要避免使泵的入口突然曝露于大气压之下，否则容易造成分子泵的叶片发生弯曲并互相碰撞，导致设备严重损坏;要防止颗粒进入，以免影响半导体产品的成品率;还要避免物理振动，因为分子泵的回转轴是精密平衡的，使用过程中的移动或冲撞会导致回转轴遭到破坏，严重时会导致分子泵严重损坏。分子泵一般不需要外部保养，损坏时一般选择直接更换。

应用型分子泵于1955年研制成功。随着动平衡技术、减振技术、磁悬浮轴承、铝合金/钛合金/碳纤维等高强度材料的应用，以及数控加工技术、变频技术、控制理论与信息技术的进步，分子泵不仅在结构和性能上不断得到改进和创新，并且在应用拓展和智能控制方面也进一步得到提升。

目前，集成电路行业中使用的分子泵的生产厂商主要有德国的普发真空(Pfeiffer Vacuum)、英国的爱德华( Edwards)、德国的莱宝(Leybold)、 美国的Varian (瓦里安)、法国的阿尔卡特(ALCATEL Vacuum)、 日本的爱发科(ULVAC)等，单台售价一般为一万美元到数万美元。